超凈實驗室國內指在一定空間內清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物,控制室內溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內。也就是說,無論外部空氣如何變化,室內都能保持原先要求的清潔度、溫度、濕度和壓力。
它的主要功能是控制產品(如硅片)暴露在空氣中的清潔度、溫度和濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境下生產、制造、測試和研究。
管理制度
1.超凈室是超凈實驗室國內樣品分離和制樣的重要場所,環(huán)境的潔凈度直接影響著數據分析的質量。因此,未征得本室人員同意,外人不得隨意進入。
2.本室儀器設備由工作人員使用、管理,未經本室人員許可,其他人不得動用,更不能擅自拿出實驗室。
3.進入本室時,必須穿專用工作服,并服從本室人員的指導。
4.嚴禁帶食物進入本室,室內禁止吸煙。
5.在實驗操作過程中,如有意外發(fā)生(如漏酸、潑酸等),必須立刻通知本室工作人員,以便及時處理。
6.要定期清洗并更換初效、中效和高效,以保證實驗室的潔凈度。
7.工作人員要定期對實驗室的潔凈度進行測試,一旦發(fā)現實驗室潔凈度達不到實驗要求的標準或實驗室本底增大等問題,要立刻查明原因并及時進行處理。
8.工作人員必須做好超凈實驗室國內的日常維護工作。注意關好門、窗,管好水、電。